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高性能空气防振座 AMG

E-9928

特点
【特点】
■高阻尼机构可迅速衰减摆动
■特殊水平机构可发挥优异的隔振性能
■全系列采用统一高度
■自动调平功能可对应偏载状态
■可用于无尘室（集中排气：选项）
■附带防止过度上浮机构
【用途】
■电子显微镜用（扫描式、透射式显微镜）
■半导体制造装置、检查装置（步进式曝光机、FIB装置）
■化学分析设备（薄膜硬度计、核磁共振仪）
■各种精密检查及测量仪、平台

[使用压力范围] 0.1～0.4（MPa）
[固有振动数] 水平1.5Hz 垂直 2.5Hz 以下

图样/价格
使用例、使用说明
产品盒子使用方法

规格

订单号 型号 尺寸 容许负荷（4个防振座） 重量kg（4个） 尺寸图 购物车 库存 在庫
状況
kg N
116411 AMG070 125 90 ～420 ～4116 3.5(14.0) 浏览 添加 × 联系我们
116412 AMG100 150 120 ～730 ～7154 5.2(20.8) 浏览 添加 × 联系我们
116413 AMG200 200 160 ～1300 ～12740 8.3(33.2) 浏览 添加 × 联系我们
116414 AMG500 250 200 ～3000 ～29400 16.6(66.4) 浏览 添加 × 联系我们
116415 AMG800 320 250 ～4700 ～46060 28.1(112.4) 浏览 添加 × 联系我们

使用例・使用説明

性能

振动传递率(AMG100装置：装载500kg时)                          振动波形(AMG100装置：装载500kg时)
水平1.5Hz 垂直2.5Hz                                                     一般：约4sec→高性能：约1.5sec

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